РАЗРАБОТКА МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ, В ТОМ ЧИСЛЕ
С ДИНАМИЧЕСКИ ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫМИ ПРЕДЕЛАМИ ИЗМЕРЕНИЙ, НА ОСНОВЕ МАТРИЧНЫХ СТРУКТУР 

Антон Павлович Мосеев, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: moseew2008@mail.ru
Борис Вульфович Цыпин, доктор технических наук, профессор, профессор кафедры ракетно-космического и авиационного приборостроения, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: rkap@pnzgu.ru
Сергей Александрович Бростилов, кандидат технических наук, доцент, доцент кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: ser-brostilov@yandex.ru
Павел Сергеевич Горшков, доктор технических наук, генеральный директор, ООО «НПО Наука Софт» (Россия, г. Москва, ул. Годовикова, 9, стр. 3), E-mail: 7498405@mail.ru
Николай Андреевич Кузин, студент, Московский автодорожный институт (технический университет) (Россия, г. Москва, Ленинградский пр-т, 64), E-mail: sputnik1985nk3y@mail.ru

Аннотация

Актуальность и цели. Исследуемое направление развития техники (матричные структуры, интегрированные в распределенные кластеры и многофункциональные интеллектуальные преобразователи давления на основе матричных структур, интегрированных в распределенные кластеры) является актуальным и перспективным. Материалы и методы. В работе была произведена разработка обобщенных принципов построения многофункциональных интеллектуальных преобразователей давления, в том числе с динамически переключаемыми пределами измерений, на основе матричных структур, интегрированных в распределенные кластеры. Результаты. На основе теоретических исследований изготовлена структура многофункционального интеллектуального преобразователя давления в пределах от 0 до 50 бар. При давлении 1 бар отклонение мембраны 1 составило 3,5 мкм, мембраны 2 – 0,3 мкм. Выводы. Эксперименты с изготовленным образцом подтвердили справедливость приведённых расчётов, в том числе линейность массива датчиков давления.

Ключевые слова

полупроводниковый датчик давления, измерение, кремневый чувствительный элемент, пьезорезисторы, полиимидный слой, технология эластичного прессованного межсоединения

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Мосеев А. П., Цыпин Б. В., Бростилов С. А., Горшков П. С., Кузин Н. А. Разработка многофункциональных интеллектуальных преобразователей давления, в том числе с динамически переключаемыми пределами измерений, на основе матричных структур // Надежность и качество сложных систем. 2025. № 1. С. 86–94. doi: 10.21685/2307-4205-2025-1-11