Статья 9224
| Название статьи |
ИССЛЕДОВАНИЕ ВСТРОЕННОЙ СХЕМЫ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ |
| Авторы |
Арина Александровна Адамова, кандидат технических наук, доцент, доцент кафедры проектирования и технологии производства электронной аппаратуры, Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (Россия, г. Москва, ул. 2-я Бауманская, 5), E-mail: aadamova@bmstu.ru |
|
Аннотация |
Актуальность и цели. Рассматриваются интегральные пъезорезистивные преобразователи на базе монокристаллического кремния. Одной из основных причин, приводящих к погрешностям пъезорезистивных преобразователей, является их чувствительность к изменению температуры. Поиск решений для снижения температурных погрешностей измерений является актуальной задачей. Материалы и методы. Рассмотрены преобразователи без встроенной в измерительный мост схемы термокомпенсации и с такой схемой. Проводится схемотехнический анализ работы схемы термокомпенсации и особенности ее поведения в широком диапазоне температур. Указаны причины возникновения температурных эффектов, определяющих точность преобразователей. Результаты. Показаны пути совершенствования встроенной схемы термокомпенсации за счет формирования необходимой температурной зависимости токов элементов измерительного моста. Выводы. Встроенная схема термокомпенсации обеспечивает значительное улучшение температурной стабильности во всем температурном диапазоне, причем введение в нее дополнительных элементов позволяет сформировать необходимую зависимость тока измерительного моста от температуры. |
|
Ключевые слова |
температурная погрешность, измерительный мост, пьезорезистивный преобразователь, монокристаллический кремний, ИПД-интегральный преобразователь давления |
 |
|
|
Для цитирования: |
Адамова А. А., Семенцов С. Г., Бецков А. В. Исследование встроенной схемы термокомпенсации пьезорезистивных датчиков давления // Надежность и качество сложных систем. 2024. № 2. С. 80–87. doi: 10.21685/2307-4205-2024-2-9 |
Дата обновления: 22.05.2024 15:23